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石墨卷材绝对厚度的比较测量法
    问题关键在于消除噪声及实现石墨卷材的在线测量。文中介绍的比较测量法,不是通常指的被测件与标准件的比较,而是一种求取差值,直接获得石墨卷材绝对厚度的比较测量法,原理如图1所示。在滚筒上有石墨卷材处和没有石墨卷材处分别营造两处狭缝,用激光衍射的方法测出两处狭缝缝宽,其差值即是石墨卷材的厚度。
    图1中,1和2分别代表标准刀口。在此以输送石墨卷材滚筒的上母线作为下刀口,y和。:分别表示刀口1与滚筒形成的狭缝1和刀口2与石墨卷材形成的狭缝的缝宽。h是一已知的常量,为刀口1与刀口2的距离,则所求石墨卷材的厚度为:△。一y+h一。2(1)而狭缝可采用衍射的间隙计量法测出其大小。
    激光衍射的基本原理是利用激光束的夫朗和费衍射效应。夫朗和费衍射是一种远场衍射,其原理如图2所示,图(a)示出当光源S照明E1平面上的一个孔H时在孔后放置一透镜,在距离R的观察屏E:上将看到点光源的像。按几何光学的观点,并设成像透镜是理想的,点光源S在E:上的像S‘应成点像。但实际上点像扩大了,而且周围还分布着亮度不大的圆环,这就是夫朗和费衍射。只有当R ;d2/ a时,才能明显地看到衍射圆环。实际上,基本的远场衍射装置如图2 Cb)所示,即平行光照射E1上的孔H时,远场衍射发生在无穷远。用透镜接收后,在透镜的焦面上就能观察到十分清晰的远场衍射条纹。www.hbxsmf.net
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